壓力傳感器的新突破效果:
日前的壓力傳感器是將一個(gè)穩(wěn)定的膜片與易傳感的硅納米線結(jié)合在一起運(yùn)作使用的,從而更加穩(wěn)定耐用。
通過蝕刻氮化硅和變化厚度、調(diào)整硅納米線,壓力傳感器可以提供電輸出的線性變化,符合高精度的醫(yī)療器械應(yīng)用要求;同時(shí)滿足了抵抗變形和機(jī)械損壞。
但由于這個(gè)隔膜必須將很小的壓力變化傳到電阻器上,同時(shí)要抵抗變形和破損。因此,壓力傳感器的隔膜材料選擇就顯得至關(guān)重要。于
然而,壓力傳感器的優(yōu)越性,能夠戰(zhàn)勝易彎曲性這個(gè)弱點(diǎn),所以會(huì)在頂層再加一層性能穩(wěn)定的氮化硅。