壓力傳感器固有頻率很高,可以測量頻率范圍很寬的脈動壓力:
用基于介觀壓阻效應(yīng)的共振隧穿薄膜替代傳統(tǒng)的壓阻式應(yīng)變片作為敏感元件,通過理論分析和仿真計算驗證了該結(jié)構(gòu)對傳感器靈敏度、固有頻率的影響,從理論上證明了介觀壓阻效應(yīng)原理可以提高
壓力傳感器的靈敏度,擴大其測量頻率的范圍。
該結(jié)構(gòu)的壓力微傳感器由于敏感元件與變換元件一體化,尺寸小,其固有頻率很高,可以測量頻率范圍很寬的脈動壓力。在不同的偏壓下,該傳感器的靈敏度不同。說明靈敏度可調(diào)節(jié)。同樣結(jié)構(gòu)的微壓力傳感器,如果敏感元件是硅或銅鎳合金壓敏電阻,其靈敏度分別為0.38x104V/m和O.17×104V/m??梢姴捎霉舱袼泶┒O管做為敏感元件的微壓力傳感器其靈敏度較之傳統(tǒng)的傳感器得到了很大的提高。
壓力傳感器應(yīng)用廣泛,例如汽車中的多路壓力測量(如空氣壓力測量和輪胎系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)、供油系統(tǒng)的壓力測量)、環(huán)境控制(如加熱、通風(fēng)和空氣調(diào)節(jié))中的壓力測量、航空系統(tǒng)中的壓力測量以及醫(yī)學(xué)中動脈血液壓力測量等。這里將在傳統(tǒng)壓力傳感器中使用一種新原理一介觀壓阻效應(yīng)口,即在共振隧穿電壓附近,通過4個物理過程,將一個微弱的力學(xué)信號轉(zhuǎn)化為一個較強的電學(xué)信號。
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